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在(zài)啟動(dòng)致(zhì)研科技定製的這(zhè)台實驗儀器——真空鍍膜機之前,需要先(xiān)進行檢查和調試,確保沒有問題之(zhī)後再進行接下來(lái)的操作。
具體步驟參考如下 1.檢查設備接地是否可靠,電氣(qì)部分是否正確。
2.取下電機上彈性聯軸(zhóu)器,啟(qǐ)動電機,檢查電機運轉方向與真空泵殼體旋(xuán)轉箭頭(tóu)方向是否一至,然後(hòu)再裝上聯軸器。
3.檢查真空泵運轉方向與(yǔ)箭頭方向是否一致(詳見真(zhēn)空泵使用(yòng)說明書)。
4.檢(jiǎn)查有關部件的連接螺釘是否擰緊,特別是(shì)真空係統的連接螺釘。
5.檢查各轉動機構(gòu)的傳動是否靈活,有無卡滯。
6.打開蒸發室,對蒸發室內(nèi)壁和內部零件進行清潔,檢查蒸(zhēng)發室(shì)內各電極接(jiē)線是否正確。尤其(qí)注意電阻蒸發電極是否與防汙板相碰。
7.對蒸發室試抽真空,檢(jiǎn)查是否能達到應達到的真空指標。 |
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