
一、當蒸發(fā)室真空度達到所需要(yào)求工作真空度時,可進行電阻(zǔ)蒸發。操作過程如下:
a.選擇好阻蒸,手動操作擋板機構,使擋(dǎng)板置(zhì)於蒸發源上方,緩緩(huǎn)調節坩堝溫度升溫待蒸發材料預熔除氣完畢後,打開擋板(bǎn)開始蒸發(使用設備(bèi)底部磁力驅動把(bǎ)手打開坩堝口)。
b.通(tōng)過上下鍵設定目(mù)標溫度,按下加熱啟停鍵(jiàn)對坩堝進行加熱。
二、蒸發完畢後,對被鍍工件(jiàn)進行一段時間的真空狀態儲存。然後操作真空度。打開放氣(qì)閥對蒸發室放氣,待放氣閥完畢後,及時關(guān)閉放氣閥。打開蒸發室門,取下工件。
三、取出工件後,應迅(xùn)速做好下一周期的準備工作。關(guān)上蒸發室門,擰緊門框(kuàng)。重複抽真空(kōng)。蒸(zhēng)發室暴露大氣的時間不應超過15min。
四、關總電源、水源、氣(qì)源。 |
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