
設備(bèi)裝配過程(1) |
這是我(wǒ)公司近期的一個定製項目,為客戶定做了一台真空鍍膜機。本(běn)實驗設備適用於鍍製各種多層光(guāng)學薄膜和(hé)電學膜,是(shì)有關工廠、研究院和大專院(yuàn)校進行生產和科研的理想設備。
設備裝配過程(2) 本(běn)設備采用箱式結構,抽(chōu)氣係統後臵(gé),便於拆卸(xiè)和維修(xiū)。整機表麵平整,便於清潔,適合淨化間(jiān)安裝。蒸發室全部采用不鏽鋼製造,外(wài)有可(kě)通冷、熱水的護罩,可對(duì)壁進行加熱(熱水器選配)或冷卻。閥門采用氣動,操作方便,使(shǐ)用可靠。液氮冷阱和水冷擋板設計為一整(zhěng)體。蒸發室抽氣口也(yě)設臵(gé)一光學密封機械擋板,因此可使蒸發室的油汙染降低到(dào)極低的程度。本設(shè)備配備的抽氣元件抽速較大,因此具有抽氣時間短,工(gōng)作真空度高,生產周期短等特點。
完工後的設備 主要技術參數 1)真空,極限(xiàn)真空(kōng):2×10-4Pa 2)恢複真(zhēn)空,從大氣→2×10-3Pa≤10min
3)蒸發(fā)室,腔體尺寸:500x500x700 4)工件夾具:外徑φ100mm
5)夾具轉速:N=9-300rpm 6)電源:220v/50Hz
7)總功率:3kw 8)溫(wēn)濕度數據記錄頻率:1次/分(容量>6小時)
9)手動排氣閥直徑:25mm 10)頂部機械(xiè)壓力表測量範(fàn)圍:-0.1Mpa-0
11)平(píng)板(bǎn)電極材質:紫銅(tóng)(300x300x2) 12)膜厚測試儀測量範圍:20nm-1μm
13)起泡器溫(wēn)控精度(dù):±0.5℃ 14)起泡器外接(jiē)接口尺寸:1/4寸 |
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